光波导一种用于传输光信号的特殊光结构。利用光的全反射原理，在材料界面处形成特定的光传输通道，将光信号从发光源传输到接收器。具有低损耗、高带宽、抗干扰等优点。利用飞秒激光直写可将波导结构直接写入材料内部实现光波导等功能。详细解决方案请联系瑞邦精控。
三轴精密运动台特点：
- XY轴气浮运动台，行程100*100mm。
- XY轴重复定位精度±50nm、直线度±0.5μm、微动步距≤50nm、速度稳定性0.2%@10mm/s、跟随误差≤20nm@10mm/s。
- Z轴调整激光焦距，行程5~20mm（根据用户的需求选择），侧升Z轴设计为平升Z轴，直接托举负载移动。
- Z轴重复定位精度±50nm，微动步距≤30nm。Z轴要求动态性能，如加工3D光波导，优先考虑气浮Z轴。
- 控制上支持位置同步输出功能，用于触发激光器通断。
产品结构：
